El generador de potencia RF eVerest proporciona pulsado de próxima generación y respuesta rápida para nodos semiconductores de menos de 2 nm.
Advanced Energy Industries, compañía especializada en soluciones de conversión, medida y control de energía, anuncia el lanzamiento de nuevos sistemas de entrega de potencia RF de alta precisión con la misión de ayudar a los clientes a “maximizar el rendimiento en la fabricación de semiconductores de próxima generación”.
Diseñado para ofrecer el control de plasma de precisión de los procesos de grabación y deposición de la era del ángstrom, el generador de potencia RF eVerest permite un pulsado multinivel altamente compatible que se puede integrar en sistemas de entrega de potencia de plasma.
Esta plataforma ofrece una potencia de salida de 3 a 10 kW y frecuencias de 1 a 60 MHz, alcanzando una frecuencia de pulsado de alta precisión de hasta 100 kHz. Aparte de la respuesta rápida, el overshoot controlado entre los estados de transición y el acceso a un ecosistema de datos IoT ayuda a los fabricantes a desarrollar procesos avanzados y repetibles para perfiles de grabado y deposición de menos de 2 nm.
eVerest aporta un sistema de entrega de potencia RF completo con múltiples opciones para soluciones de adaptación de impedancia y sincronización con otras innovaciones de Advanced Energy como la solución bias eVoS, que posibilita una sincronización de transición instantánea o definida por el usuario para poder optimizar la cinética de deposición y grabado.
Con una respuesta de salida RF de menos de 200 µs, el generador tiene unos tiempos de subida/caída de estado de pulso por debajo de 2 µs. El control dinámico del pulsado multinivel establece nuevas oportunidades a los regímenes y las distribuciones de energía, mientras que el overshoot programable asegura una ignición fiable. También se distingue por la posibilidad de restablecer el plasma en procesos con estados de inhibición de pulso más largos.
Ecosistema de datos IoT
Cuando se integran con el ecosistema de datos IoT PowerInsight by Advanced Energy, las soluciones basadas en eVerest dotan a los profesionales de acceso a datos a nivel sistema o embebidos de elevado ancho de banda y alta resolución.
Estos datos proporcionan información procesable que respalda una caracterización y una resolución de problemas de procesos más rápidas y precisas. Además, contribuye a acortar el tiempo de inactividad al eliminar la necesidad de acceder a la cámara de plasma para la instalación de un osciloscopio.
Es posible obtener más información en el “Servicio al lector de NTDhoy”.
