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Fuente de alimentación electroestática E-chuck con sensor Wafer

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Con seis modelos en la serie, la fuente de alimentación electroestática E-chuck con sensor Wafer se presenta con varios voltajes de salida.

La compañía japonesa Matsusada Precision, que entre otros dispositivos produce fuentes de alimentación, presenta su nueva fuente electroestática E-chuck de la serie HECD, la cual incluye sensor de tipo Wafer.

De esta forma, la nueva fuente de alimentación de Matsusada satisface las necesidades de sensorización wafer aparte de la polaridad inversa, así como de la funcionalidad de descarga forzada.

Las unidades de la serie HECD se encuentran disponibles con un amplio abanico de voltajes de salida, que van desde los 0,5 kV hasta los 5 kV para cada canal. También soporta mandriles (chuck) electrostáticos coulombic y Johnsen-Rahbek, y cuenta con seis modelos a la venta.

Además, esta fuente de alimentación electroestática E-chuck con sensor Wafer está equipada con interfaces digitales de red, USB, y RS-232C. Está preparada sobre todo para desarrollo en sistemas multifuncionales y de alta precisión en aplicaciones de inspección automática y medición.

Ofrece una respuesta rápida gracias al uso de la arquitectura Amplifier en su diseño, una arquitectura que le permite la polaridad inversa sin relé, una alta fiabilidad, y una larga vida operativa.

Otras posibilidades para su uso

Opcionalmente, dispone de dos canales de control independientes, y ajuste de voltaje del ‘grifo’ central para operaciones variadas de mandril/liberación. Su filtro incorporado de paso bajo de radiofrecuencia está a los 13,56 MHz.

Fuente de alimentación electroestática E-chuck con sensor Wafer

Los seis modelos son el HECD-0.5B10×2, con un voltaje en kV de +500 V, -500 V y una corriente en mA de 10; el HECD-1B3×2 con +1 kV, -1 kV y 3; el HECD-1.5B2×2 con +1.5 kV, -1.5 kV y 2; el HECD-2B3×2 con +2 kV, -2 kV y 3; el HECD-4B1×2 con +4 kV, -4 kV y 1; y finalmente, el HECD-5B2×2 con +5 kV, -5 kV y 2.

La entrada de alimentación de corriente alterna se sitúa entre los 100 y los 240 VAC, y el cable HV de salida tiene una longitud de 7 metros.

Podemos encontrar todos los detalles técnicos de la nueva serie de fuentes de alimentación de Matsusada en su correspondiente página web.

En prensa escrita, especialmente online, ha tenido experiencia propia editando y dirigiendo su propio medio, y desde hace unos años trabaja como colaborador freelance para varias publicaciones técnicas.

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