El sensor de potencia de pulso con una precisión del 0,5% 7037-1-595701-xxyy cumple los requisitos de calibración y verificación de generadores RF.
Bird Technologies, representada de ADLER Instrumentos, amplía su familia de sensores de potencia con la introducción del 7037 Precision Pulse Power Sensor, que dota de un dispositivo preciso y asequible para medir potencia RF y otros parámetros.
El 7037-1-595701-xxyy es un sensor de potencia de 13,56 MHz con una precisión del 0,5 por ciento en todo su rango dinámico para cumplir los requisitos de calibración de generadores RF, que resultan esenciales en la producción de semiconductores.
Al usar la función de análisis de dominio de tiempo, se posibilita una visión calibrada de la forma de onda de pulso de RF y se facilita la caracterización detallada de estos pulsos de alta potencia.
La capacidad de registro de datos (logging) soportada por el Virtual Power Meter del sensor permite un análisis de datos de potencia RF para aumentar la eficiencia en el desarrollo de proceso.
Los circuitos de semiconductor diseñados con menores geometrías y mayores densidades requieren el uso de potencia RF por pulsos. Los generadores RF son necesarios no sólo para ofrecer la capacidad de pulso, sino también para obtener elevada precisión.
Por lo tanto, el 7037 Pulse Power Sensor se convierte en una solución idónea para la calibración y la verificación de generadores RF por pulsos. La calibración de este sensor usa las últimas técnicas en llegar al mercado, que tienen un camino trazable a NIST.
Otras aplicaciones para el sensor de potencia
El nuevo modelo también es esencial a la hora de efectuar un diagnóstico para optimizar el rendimiento de la entrega de alimentación a una cámara de plasma.
Con la capacidad de medir los pulsos multinivel, este sensor se puede ubicar en línea en un entorno de 50 Ω para identificar problemas durante un paso del procesamiento. El 7037 de Bird respalda una recopilación de datos más rápida y detallada.
La versión de 13,56 MHz del 7037 Pulse Power Sensor es la primera de la serie en lanzarse. Está prevista la llegada de unidades operativas a 400 kHz, 60 MHz y otras frecuencias en un futuro cercano.